加速度传感器灵敏度提高百倍以上有助开发新的器件和系统

来源：科技日报　　2019-07-31 13:54:24

东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构，成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS(微机电系统)加速度传感器，实现了1微(μ)G级(G=9.8m/s2，重力加速度)的高分辨率检测。

这一创新技术提高了超小型加速度传感器的分辨率，并实现其通用化，可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人应用等各种运动检测中，有助开发新的器件和系统。

该研究小组此前提出过利用金材料将MEMS加速度传感器的砝码体积削减至十分之一以下的方法。此次以该方法为基础，通过重叠多层金层形成MEMS结构，增加了单位面积的砝码重量，与以往相同尺寸的传感器相比，灵敏度提高百倍以上，噪声降至十分之一以下。

相关研究近日发表于国际学术论文期刊《传感器与材料》网络版。

(来源：日本科学技术振兴机构)

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