试验317次实现技术突破
- 来源:新华日报 2018-06-07 17:43:54
经过一系列严格验证、检测,位于徐州的鑫华半导体材料科技公司生产的集成电路用高纯度硅料小批量出口韩国,并已向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着鑫华半导体集成电路用硅料达到国际一流质量标准,这是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。
去年11月,鑫华半导体正式发布自主生产的电子级多晶硅产品,突破海外多年技术封锁,填补国家集成电路产业专项空白。
集成电路用高纯硅料项目是工信部强基工程中标项目、科技部02专项子项目。经层层测试下来,众多厂家反馈,完全达到国际一流电子级多晶硅各项指标。研发过程中,鑫华半导体技术团队历经317次生产试验,对629项技术、设备优化改进,以70%的国产设备实现重大突破。鑫华半导体首条生产线产能为5000吨,产品向市场铺开后,可保证国内企业3-5年内电子级多晶硅不会缺货。未来两三年内,还计划再上一条5000吨生产线。
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